美国PMSLASAIR II-110粒子计数器粒子计数器
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产品属性
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优点:1、实时监测导致制程缺陷的例子变化;使用移动式计数器定位粒子污染源;排除多管采样的常见漏计错误;0.1um粒子监测效率高于传统设备;
2、存储/导出采样方案,节省洁净室时间;通过办公室电脑和网络浏览器控制洁净室监测(设置、采样、显示、打印、数据、上传采样方案等);可选择9种语言显示打印;同Facility Net软件整合,用于全面数据管理,高速数据至Excel、PDA或USB存储器;
3、符合ESA/ESD标准的KYDEX机壳,非常结实,抗化学腐蚀;低温激光二极管使用寿命长,激光部件保修3年;
4、容易清洗擦拭,设计有利于将粒子截留减至少;
性能:1、6个粒径通道:0.1-5.0um,可存储多达3000套样本参数,可进行数据审核、分检、过滤、打印,USB数据至闪存卡键;
2.内置热敏打印机,彩色液晶显示大屏(视觉效果佳,数据显示量大)
3、可整合多达6个环境传感器,安静的无碳鼓风机/泵,泵和机柜排气过滤;
4、可选购适用于ISO1-4清洁度的高效过滤器。
应用:1、洁净度监测,高灵敏应用;
2、满足ISO、FS或英国标准的设施,微环境;
3、故障诊断/移动式应用;
4、多管采样(使用AM II型多点采样设备),监测高压气体(使用高压扩散器),超洁净区监测(ISO 1-2)