HMDS真空烤箱,HMDS烘箱
价格:电议
地区:上海市
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手 机:18016281599

烘箱HMDS预处理系统,HMDS基片预处理系统的必要性:

       在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。

烘箱HMDS预处理系统,HMDS基片预处理系统特点:

1、 采用医用级不锈钢316L材质制造,内胆为不锈钢316L;加热器均匀分布在内胆 

    外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观 

    察工作室内物体一目了然。

2、 箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。

3、 微电脑智能控温仪,具有设定,测定温度双数字显示和PID自整定功能,控温 

    ,可靠。

4、 智能化触摸屏控制系统配套进口PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序, 

    温度,真空度及每一程序时间。

5、 HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外 

    漏顾虑。

6、 整个系统采用优质材料制造,无发尘材料,适用100 级光刻间净化环境。

烘箱HMDS预处理系统,HMDS基片预处理系统技术参数:

电源电压:AC 220V±10%/50Hz±2%

输入功率:2400W

控温范围:RT+10℃-250℃

温度分辨率:0.1℃

温度波动度:±0.5℃

达到真空度:133Pa

容积:90L

工作室尺寸(mm):450*450*450(可选择)