布鲁克斯/Brooks4850气体质量流量计质量流量控制器
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4850_模拟橡胶密封质量流量控制器(51C41L)模拟橡胶密封;流量范围:50 sccm-40 slpm;:±3.0% of FS;±1.0% of FS;压力:0-150 psig 4860_模拟橡胶密封质量流量计(51C41L)模拟橡胶密封;流量范围:50 sccm-40 slpm;:±3.0% of FS;±1.0% of FS;压力:0-150 psig;阀门:阀门常闭:<0.3V;阀门常开:>4.8V

常开:>4.8V

4850_模拟橡胶密封质量流量控制器(51C41L)

模拟橡胶密封;

流量范围:50 sccm-40 slpm;

:±3.0% of FS;±1.0% of FS;

压力:0-150 psig