布鲁克斯/Brooks SLAMF50气体质量流量控制器
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SKAMF50气体质量流量计
美国BROOKS布鲁克斯公司热式质量流量计是为了满足有关工艺过程中对测量、重复性和控制方面的要求而设计的产品。它与传统的体积流量仪器截然不同,BROOKS质量流量计通过被测气体的比热来测量流量,不受温度、压力变化的影响。因此该产品在各种不同的工作环境下均有较高的。被测流量可设计成质量或体积单位。此外,所有BROOKS INSTRUMENT质量流量计产品都能同现有的工业仪表兼容,安装简便。
技术参数:
数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器
介质:可选H2,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体
流量范围:0.03-30slpm
工作压力: 1500psi(10.432Mpa)
气路接头: 1/4"VCR或1/4"SWG
电气接头:15 Pins D-Type或Card-edge
:±1%FS
信号输出:RS-232/RS-485接口,4-20mA输出控制,TTL报警
内置微处理器,智能化、数字化。软件组态,数字通讯,支持微软Windows动态数据交换。
流量范围:0-30L/MIN;
:1%FS;
压力:1500psi;
温度:65℃;
输入/输出:0-5V;
电源:+/-15V