| 英国IMS三坐标 | | | | |
| 40年以上制造三坐标的经验 | | |
| 高性部分 | | | | |
| 台面采用花岗岩石制造，在进行高速测量时保持恰当的动态平衡，同时提升准确性，横梁和气垫轴承均采用合金加碳纤维涂层，增强机体刚性/稳定/耐用性/和具温度惰性（温差反应特性）。 |
| 防震装置 | | | | |
| 配用防震装置，减低四周环境震动对测量时的影响。 | |
| 光栅尺 | | | | |
| 配用标准0.1um光栅尺在三个轴上，IMS拥有先进校准设施及特设高精密专门小组研制精密光栅，确保质量。 |
| 传动部件 | | | | |
| 三轴均采用DC直流伺服马达驱动，直线加速度率为2.5m/sec2 |
| 电脑控制器 | | | | |
采用32元位[连续运动]（On-Motion Control)PCI控制卡，配合软件上平稳轨迹移动功能，有效缩短测量时间和减低机器上的应力。 | 型号 | X | Y | Z | um | 分辨率um | 载重kg | | IMPACT 600 | 500 | 600 | 450 | 2.8+L/250 | 0.1 | 500 | | IMPACT 800 | 750 | 800 | 550 | 3.3+L/250 | 0.1 | 750 | | IMPACT1000 | 750 | 1000 | 650 | 3.5+L/250 | 0.1 | 850 |
| 型号 | X | Y | Z | um | 分辨率um | 载重kg | | Premier1000 | 1000 | 1000 | 800 | 2.5+L/250 | 0.1 | 750 | | 1000 | 1250 | 800 | 2.6+L/250 | 0.1 | 750 | | 1000 | 1500 | 800 | 2.7+L/250 | 0.1 | 900 | | 1000 | 1000 | 1000 | 3.0+L/250 | 0.1 | 750 | | 1000 | 1250 | 1000 | 3.1+L/250 | 0.1 | 750 | | 1000 | 1500 | 1000 | 3.2+L/250 | 0.1 | 900 | | Premier1250 | 1250 | 1250 | 800 | 2.8+L/250 | 0.1 | 750 | | 1250 | 1500 | 800 | 2.9+L/250 | 0.1 | 900 | | 1250 | 2000 | 800 | 3.1+L/250 | 0.1 | 1100 | | 1250 | 3000 | 800 | 3.3+L/250 | 0.1 | 1500 | | 1250 | 1250 | 1000 | 3.8+L/250 | 0.1 | 750 | | 1250 | 1500 | 1000 | 3.9+L/250 | 0.1 | 900 | | 1250 | 2000 | 1000 | 4.1+L/250 | 0.1 | 1100 | | 1250 | 3000 | 1000 | 4.2+L/250 | 0.1 | 1500 | | Premier1500 | 1500 | 1500 | 800 | 3.3+L/250 | 0.1 | 900 | | 1500 | 2000 | 800 | 3.5+L/250 | 0.1 | 1100 | | 1500 | 3000 | 800 | 3.7+L/250 | 0.1 | 1500 | | 1500 | 1500 | 1000 | 4.2+L/250 | 0.1 | 900 | | 1500 | 2000 | 1000 | 4.4+L/250 | 0.1 | 1100 | | 1500 | 3000 | 1000 | 4.6+L/250 | 0.1 | 1500 | | 1500 | 1500 | 1200 | 5.1+L/250 | 0.1 | 900 | | 1500 | 2000 | 1200 | 5.3+L/250 | 0.1 | 1100 | | 1500 | 3000 | 1200 | 5.5+L/250 | 0.1 | 1500 |
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