精密测量电子组件精密模具塑料PCB加工外形尺寸显微镜测量仪
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产品属性
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产品特点 | ||||
● X、Y、Z轴0.5μm分辨率; ● 高非接触式光测高度量测模块; ● Z轴粗调/微调旋钮; ● 同轴表面光/底光测量; ● 内建偏光量测光学模块; ● 可量测透明材质纳米级高度差 | ||||
规格型号 | MTM-1510M | MTM-2010M | ||
工作行程X、Y、Z轴 | 150*100*120(mm) | 200*100*120(mm) | ||
金属台尺寸 | 210*160(mm) | 260*160(mm) | ||
玻璃台尺寸 | 354*228(mm) | 404*228(mm) | ||
光学尺分辨率 | 0.5μm | |||
示值误差 | X、Y坐标≤(3+L/75)μm (L为测量长度,单位mm) | |||
影像系统 | 彩色1/2"CCD摄像机;640*480像素;结合测量软件 | |||
显微镜系统 | 目镜:10倍 | |||
滤光片:红,蓝,绿,白 | ||||
测量模式:反射,透射,偏光 | ||||
5孔物镜转换器 | ||||
物镜放大倍率误差 | 包括畸变在内的放大率误差≤0.008% | |||
总放大倍数 | 50X——500X | |||
照明系统 | 透射照明光源:白光LED,亮度可调 | |||
同轴照明光源:卤素灯,亮度可调 | ||||
物镜 | ||||
倍率 | 5X | 10X | 20X | 50X |
工作距离(mm) | 26.1 | 20.2 | 8.8 | 3.68 |
高度量测模块(选配件) | 光干涉高度量测模块(M10-CA),高度量测分辨力0.5μm(选配) | |||
倍率:10X,工作距离5mm,光学分辨力2μm | ||||
其它参数 | ||||
外形尺寸(mm) | 590*560*850 | |||
仪器重量(kg) | 100 | 110 | ||
电源功耗 | 110V—220V 50/60Hz <60W |
HLEO
制造商
全新
北京