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美国Micro-vu测量仪MVU
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北京精成光学仪器厂

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型號 Excel651UM Excel651UC Excel652UM Excel652UC Excel654UM Excel654UC
量測行程 650x650x160mm 650x650x250mm 650x650x400mm
外形尺寸 1311x1604x1608mm  1311x1604x1788mm 1311x1604x2088mm 
重量  1530kg  1550kg  1550kg 
承載重量  100kg  100kg  100kg 
平臺材質  鋼構 
基座材質  花崗岩 
傳動方式  Unique X&Y Monorail, Monorail Linear Z
電控系統  伺服系統: CNC, 滑鼠, 搖杆 
電源系統  93-264 VAC, 47-63 Hz,10 Amp 
XY   Uxy=2.5+L/300μm Uxy=2.8+L/300μm Uxy=3.2+L/300μm
Z   Ux=2.5+L/150μm Ux=3.0+L/150μm Ux=3.5+L/150μm
XY 重現性  2.5μm 2.8μm 3.2μm
Z 重現性  2.5μm 3.0μm 3.5μm
XY 加速度  1000mm/S2
Z 加速度  500mm/S2
XY 移動速度  500mm/s
Z 移動速度  150mm/s
光學尺解析度  0.1μm
影像  黑白  彩色  黑白  彩色  黑白  彩色 
光源  紅光LED 白光LED 紅光LED 白光LED 紅光LED 白光LED
照明系統  表面光, 輪廓光,同軸光 
光學系統/放大倍率  12x 光學/2.5x 數位 Zoom / 15x~1200x 放大倍率 
軟體  InSpec for Windows Metrology Software(2000/XP/Vista)
工作環境  20℃(68℉)±2°,30-80%濕度