Micro-vu测量仪3D非接触
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手 机:13220128546
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型号 501 UM / 501 UC  502 UM / 502 UC 
量测行程  400 x 500 x 160 mm 400 x 500 x 250 mm
外形尺寸  1100 x 1200 x 1550mm 1100 x 1200 x 1650mm
重量  860kg  900kg 
XY 移动速度  700 mm/s
XY 加速度  1400mm/S2
移动速度  100 mm/s
加速度  450mm/S2
光学尺分辨率  0.1μm
XY   2.5 + L/200 2.8 + L/200
Z?   2.5 + L/100 3.0 + L/100
镜头倍率(光学,数字) 36x(12x, 3x)
放大倍率  15x-540x to 30x-1080x
表面光轮廓光,同轴光光源  红光LED (黑白系统白光 LED(彩色系统)
承载重量  100kg 
电源系统  93-264 VAC,47-63 Hz