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美国Micro-vu测量仪MVU
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型號 Excel1651UM/UC Excel1652UM/UC Excel200U  Excel250U 
量測行程  1250x1650x160mm 1250x1650x250mm 2000x1250x200mm  2500x1600x200mm 
外形尺寸  1886x2600x1650mm 1886x2600x1850mm 1886x3084x1737mm  2252x3794x1737mm 
重量  3,600kg 3,650kg 3,740kg  6,800kg 
承載重量  100kg 
平臺材質  鋼構 
平臺設計  龍門式 
基座材質  花崗岩 
XY   4.0+L/300μm  4.05+L/300μm [5.5+L(mm)/300]μm [5.5+L(mm)/300]μm
Z   2.8+L/150μm 3.0+L/150μm 3.0+L/150μm  3.0+L/150μm 
加速度  1000mm/s2(XY), 500mm/s2(Z) 
速度  500mm/s(XY), 500mm/s(Z) 
光學尺解析度  0.1μm 
影像  高解析度彩色或黑白系統 
表面光, 輪廓光,同軸光光源  紅光LED (黑白系統白光)
LED(彩色系統) 
光學系統/放大倍率  12:1光學 Zoom/15x-180x or 30x-360x放大倍率 
軟體  InSpec Metrology Software 
電控系統  伺服系統: CNC, 滑鼠, 搖杆
工作環境  20℃±2°,30-80% 濕度 
電源系統  93-264VAC, 47-63Hz, 10Amp