产品品牌：

矽翔

产品型号：

FS4001

类型：

质量流量计

测量范围：

10-1000SCCM m3/h

性能参数	FS4001		单位
通 径	1.0	1.8	mm
流量	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程比	≥100:1
精 度	±(1.5+0.2FS)		%
重复性	0.25		%读数
零点输出飘移	±30		mV
输出飘移	±0.12		%/oC
响应时间	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作电源	8~18Vdc,50mA
输出方式	线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc
流量压损	350	300	pa
工作压力	0.5		MPa
工作温度	-10 ~ +55		oC
存储温度	-20 ~ +65		oC
工作湿度	<95%RH（无结冰、无凝露）
机械接口	可拆式软管接头
校准方式	空气（或其他气体），20oC，101.325kPa
重量	15		g