采用i线紫外曝光光源，光学系统采用特殊的消衍射和线条陡直增强技术，采用积木错位绳眼透镜实现高均匀照明，并配备了双目双视显微镜和CCD图象对准系统（可同时使用），曝光能量高，聚光角度小，突具厚胶曝光功能，曝光设定采用微机控制，菜单界面友好，操作简便。

技术参数：
曝光面积：110mm×110mm
分辨力：0.8～1μm（胶厚1.5μm的正胶）
对准：±0.6μm
胶厚：600μm（SU8胶）
掩模尺寸:2.5inch、3inch、4inch、5inch
样片尺寸：直径Ф15mm-Ф100mm、厚度0.1mm-6mm
照明均匀性：±3.5%Ф100mm)；±5.5%(Ф150mm)
汞灯功率：1000W（直流）
掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
外形尺寸：1400mm*1200mm*1850mm