ALIO 直线电机精密一维运动平台
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AI-LM-5000 规格参数行程 1 50mm小步长10nm双向重复定位<±20nm定位2 ±250nm速度500mm/s推力84N直线度及平面度3 <±500nmPITCH <±5arcsec4YAW <±5arcsecROLL <±5arcsecMTBF 40,000 小时重量 2.2kg滑块质量1.4kg