ALIO 是超高性能六自由度并联运动平台的世界供应商，与传统的多轴串联运动平台相比，多轴并联平台具有更多明显的优点，比如更低的运动惯量、更高的动态性能、更小的体积和更高的结构刚性。ALIO 开创性的三自由度并联运动平台TRIPOD 和六自由度并联运动平台HEXAPOD 更是凭借优异的性能成为六自由度运动平台的行业标杆（美国： 和）。多自由度并联运动平台正因其灵活的自由度和亚微米（甚至纳米）级别的，成为各种不同复杂定位应用的客户，比如光电加工领域的微操作系统和微装配系统，精密加工领域的工件承载，医疗领域的检测系统，也可用于天文望远镜的光学系统，卫星天线发射/接受系统（如下图即为ALIO 为美国空军设计的卫星定位系统）。ALIO 的多轴并联运动平台基于两种不同的动力进行驱动，采用压电马达驱动的多轴平台能够胜任在各种真空、强磁、失重等环境，且压电马达自身的断电自锁能够保证设备在非工作状态时依然能够保持较为稳定的位置形态。采用直线电机驱动的多轴平台则具备更为优异的运动特性，高速、高、适合工况条件长时间大负荷操作。全树脂封闭的直线电机线圈甚至能够实现在水下环境的工作。全系列多轴并联平台皆配备了纳米级别的光栅反馈系统及运动控制系统，能够适应工业化简单、快捷、稳定的上手操作要求。在六自由度并联运动平台中，用户只需要简单的输入笛卡尔坐标轴的各自的位置数据，运动控制系统就能够根据该目标位置进行复杂的算法计算，进而控制每一轴的高位移，使得用户指定的目标位置能够性平滑到位。应用领域光电封装和对准微机械和微加工医疗技术半导体工艺数据存储设备测试激光技术和光电技术细胞微操作生物科技微装配航空卫星定位系统6D ALIO HYBRID HEXAPOD 规格参数（如需其他型号资料请来电或邮件索取）XY 轴行程1 ±50mm 至±150mmZ 轴行程2 ±3mm 至±53mmθX,θY 行程3 ±3°至±17.5°θZ 行程360°驱动器行程 4 6mm 至106mm驱动器分辨率5nm,标准X 轴小步长20nm 至50nmY 轴小步长20nm 至50nmZ 轴小步长20nm 至50nmX 轴重复定位<<100nmY 轴重复定位<<100nmZ 轴重复定位<<100nmθX,θY,θZ 小步长~1uradθX,θY,θZ 重复定位<±2urad小速度um/s速度200mm/s有效负载5 2kg 至10kg（采用气缸平衡配重）马达/驱动类型直线电机及转矩马达直驱反馈 标准光栅反馈光栅零位及限位支持 支持回程间隙 无迟滞 无正向/反向运动支持速度控制 支持运动轨迹控制 支持运动控制器 高/超高G 代码可选软件界面/接口C++,VB,LabVIEW*产品的性能依赖于应用，ALIO 提供基于基本性能特征及有效负载下的咨询1、2、3、4 更大的行程要求请直接咨询厂商5 更大的负载要求请直接咨询厂商使用环境：实验室、无尘室、真空环境使用（具体细节请咨询厂商）环境温度: 0 – 50°C保存温度: -40°C - +70°C湿度: 0 – 80% 无结露