SLP 系列是海德星科技自主研发生产的由压电线性马达驱动的平台系列，SLP.DX.75RL.01平台采用优质的交叉滚柱直线导轨并通过线性马达直接驱动，避免了传统伺服电机或步进电机因为结构上的原因而造成的回程误差。同时全系列平台采用光栅以及的运动控制卡进行全闭环的位置反馈及运动控制，确保了该平台的运动特性以及定位。海德星科技的全系列SLP 平台兼顾了标准化及客户定制化的需求，的技术团队及加工水平保证了能在短时间内为客户提供量身定做的方案，并同步转化为标准产品的实力。SLP.DX 系列一维平台采用两个对称的压电线性马达，相对SLP.X 系列平台，具备更大的推力及系统稳定性，可以定制从5mm 行程至200mm 行程的不同规格，并有针对真空、无磁等各种特殊应用要求的方案可供选型。简单紧凑的模块化设计理念，使得全系列平台具备与其它通用产品兼容和组合的优点，使用简单便捷，具有的综合特性，是实验室及OEM 应用的理想选择。SLP.DX.75RL.01 规格参数行程1 75mm（X 轴）马达 HDS-HF2 或HDS-HF4马达推力 15~18N（双HDS-HF2）或30~36N（双HDS-HF4）速度 200mm/s小步长 0.1um光栅分辨率 0.5um（1um、0.1um、50nm、10nm 可选）负载 7kg重复定位2 ±2um限位开关3 光栅带中心原点，标准品为机械限位结构材质 铝合金6061-T6（不锈钢可选）装配质量 1kg1 5mm、10mm、25mm、50mm、100mm、125mm、150mm、175mm、200mm 行程可选（不同行程平台的尺寸规格略有不同，具体请咨询厂商）2 重复定位参考数值：1um 分辨率光栅反馈对应±3um 重复定位0.5um 分辨率光栅反馈对应±2um 重复定位0.1um 分辨率光栅反馈对应±0.5um 重复定位50nm 分辨率光栅反馈对应±250nm 重复定位10nm 分辨率光栅反馈对应±50nm 重复定位3 限位开关：可选光栅光学限位及机械限位使用环境：实验室、无尘室、真空环境使用（具体细节请咨询厂商）环境温度: 0 – 50°C保存温度: -40°C - +70°C湿度: 0 – 80% 无结露

海格威公司产品型录

自主创新产品：压电马达、超声电机、压电直线马达、压电旋转马达

精密光学系统：电动纳米位移台、精密探针台、电动显微镜平台、电动精密显微镜平台、电动显微镜变焦系统、Optotune变焦镜头 、激光消斑器

运动控制器：  以色列ACS多轴控制器 

          美国GALIL多轴控制卡

         Allmotion运动驱动控制器

         美国PARKER运动控制器

伺服驱动器：  美国TRUST线性放大器、美国VAREDAN线性放大器、parker公司aries驱动器、C3驱动器

直线电机：    美国AIREX直线电机

交流伺服电机：日本Panasonic、Yaskawa

步进电机：    美国PEAKSERVO步进及控制器

光栅：        美国MicroE直线光栅、圆光栅以及旋变

              英国雷尼绍公司的直线光栅和圆光栅

运动平台：     美国ALIO全系列精密运动平台、多轴直线平台、旋转台、并联六自由度平台、力矩电机平台、直线电机平台、美国PARKER公司的全系列产品

南京海格威自动化设备有限公司

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经理：姚孝生