PSP.3A.20RN.01B 型三维探针台是PSP.6A.12RN.01A 型三维探针台的升级版本，采用比HDS-MLF更高、控制效果更好的HDS-HF1 系列大推力马达进行驱动。具备更稳定的性能及更为优异的可靠性，是实验室及生产检测环节高运动检测的选择。该产品除用于高的各种电学性能检测外，更可以与其它可选配件搭配组合成光学耦合或光纤对接用平台。应用领域：根据测试样品分类 根据应用分类晶圆测试 射频测试LED 测试 高温环境测试功率器件测试 低温真空测试MEMS 测试 低电流（fA）测试PCB 测试 I-v/c-v/p-iv 测试液晶面板测试 高压，大电流测试太阳能电池片测试 特殊气体环境测试材料表面电阻测试 强磁环境测试纳米器件测试 辐射环境测试PSP.3A.20RN.01B 规格参数行程（单轴行程） 20mm（X 轴&Y 轴&Z 轴）马达 HDS-HF1小步长 0.1um（开环系统）速度 200mm/s负载 50g控制方式 标准品自带HDS 控制驱动一体机，配三轴霍尔操纵杆导轨类型 IKO 直线滚珠导轨结构材质 铝合金6061-T6（不锈钢可选）装配质量 200g标准产品为一套三维探针台，一台HDS 控制驱动一体机及一个专用的三轴霍尔操纵杆，如前页图片所示。可选配件：15、光栅闭环系统16、不同规格探针17、压电超精密 XY 轴样品载物台或手动XY 样品载物台18、不同规格显微观察系统及显微镜万向连接装置19、可定制不同规格尺寸安装底座及连接底板20、真空吸附型卡盘（不锈钢、黄铜材质可选）21、积分球夹具22、视频 CCD 系统23、封装器件夹具24、PCB 板夹具25、样品加热系统26、光学隔振平台27、屏蔽箱28、强磁场及高真空度使用请直接咨询厂商以获得更加详细的信息使用环境：实验室、无尘室、真空环境使用（具体细节请咨询厂商）环境温度: 0 – 50°C保存温度: -40°C - +70°C湿度: 0 – 80% 无结露

海格威公司产品型录

自主创新产品：压电马达、超声电机、压电直线马达、压电旋转马达
精密光学系统：电动纳米位移台、精密探针台、电动显微镜平台、电动精密显微镜平台、电动显微镜变焦系统、Optotune变焦镜头 、激光消斑器
运动控制器：  以色列ACS多轴控制器

              美国GALIL多轴控制卡

               Allmotion运动驱动控制器

                美国PARKER运动控制器

伺服驱动器：  美国TRUST线性放大器、美国VAREDAN线性放大器、parker公司aries驱动器、C3驱动器

直线电机：    美国AIREX直线电机

交流伺服电机：日本Panasonic、Yaskawa

步进电机：    美国PEAKSERVO步进及控制器
光栅：        美国MicroE直线光栅、圆光栅以及旋变

                    英国雷尼绍公司的直线光栅和圆光栅

运动平台：     美国ALIO全系列精密运动平台、多轴直线平台、旋转台、并联六自由度平台、力矩电机平台、直线电机平台、美国PARKER公司的全系列产品