- 产品品牌:
- 尼康Nikon
- 产品型号:
- L200
NIKON L200金相显微镜
ECLIPSE L200D
透反射两用型
使用世界水平的尼康
CFI60光学系统,对光路中的耀斑有很好的抑制,可以实现很高的图象对比度。
可以观察的硅片直径为200mm
,观察倍率15X~3000X(视目镜和物镜的组合而定); 物镜齐焦距离为60mm,可以兼顾高数值孔径和长工作距离两方面的要求; 主机刚性高,具有很好的抗振性能,具有防尘、防污染、防静电功能; 光亮调节、光阑调节、物镜转换等操作都集中在前面,使用方便,即使长期操作也不易产生疲劳; 可以与尼康的硅片输送机配合使用,提高硅片检测效率。 <微分干涉套> 全体物镜共用物镜转换器内的诺曼斯基棱镜,结构简单,成象质量高。 L200 L200D
观察性能的提升
扩大检查范围的反射荧光观察(
L200ND
)新
反射照明观察,除可进行明场、暗场、微分干涉观察之外,更可进行
UV(365nm)激发的反射荧光观察。
对于半导体感光薄膜的残渣、有机
EL显示面板的观察发挥了很大的威力。
使用物镜:
CFI LU PLAN FLUOR 10X
硅片的明场观察 暗场观察 微分干涉观察 反射荧光观察
反射荧光观察用的电动水银光纤光源
[INTENSILIGHT](L200ND)
光源采用了预定心电动水银光纤光源
[INTENSILIGHT]。更换灯泡时不用进行灯丝调心和对焦。
灯箱可与主机分离设置,以降低光源发热对显微镜的影响。
6段式的调光机能和快门机能,实现了良好的操作性。
约2000
小时超长使用寿命的灯泡大幅降低了使用成本。
操作性能提升、理环保
比
12V100W更亮的高亮度12V50W卤素灯 新
采用了
12V50W的[LV-LH50PC预定心灯箱],与12V100W相比,耗电量削减了约一半,又可达到与其同等甚至更亮的亮度。
灯丝位置经过优化设计,且灯箱里有反光镜,使照明视场均匀,并提高照明效率。特别是用到
50倍以的高倍物镜时,能得到比12V100W亮约20%的观察图象。
更环保,也能防止因热量而造成的焦面偏移的干扰。
抗污染的防静电涂层 新
主机、载物台、镜筒均涂有消静电涂层。为了提高抗污染能力,防止工件因静电感应而受损,从而提高成品率。
可调节到位置进行观察的正立调倾式三目镜筒
视场数
25的超大视场,可任意设定0~30°的观察角度。根据使用者体型和观察姿势的不同,可将三目镜筒调节到位置松随意的进行观察。
载物台微调手轮无需移动工件
不用移动工件,载物台微调手柄位置固定于显微镜主机操作部旁。
所有的操作部都尽在手边,移动载物台、对焦等显微操作,不用抬手,只需动动手腕就可轻松执行。
耐久性比以前高
3倍的电动通用物镜转换器 新
多可以安装到
6个物镜。和偏心较小的物镜结合使用,用高倍物镜观察时切换倍率也很少会出现图象闪动现象。
从低倍到高倍的自由切换更稳定。考虑到使用者,在旋转物镜转换器时会自动切断照明光路,避免光直接照射使用者眼晴。
对焦目标
对焦目标可移入光路,这一特性对于裸硅片之类的低对比度工件的正确对焦成为方便。
?
显微镜操作部位集中于底座前部
操作手轮、按键等,都集中于底座前部,更便于使用。一看就能快捷高效的进行显微操作。大大减轻了长时间观察的疲劳感。
获取图象,提升与显微镜用数码相机的联动力
实现了从观察到图象拍摄、分析的整体化
·
尼康开发提供了便于使用的显微镜、数码相机和软件一体化的高机能设备系统。
·
支持从设定观察条件,到数码拍摄→处理→分析的整个流程。
用于
LSI检查显微镜 ECLIPSE L200N
Wafer Loader NWL200系列
与
ECLIPSE L200N
相结合,对应新的硅片检查需要。
运用独立的尼康高端技术,稳定传输超薄型
100um硅片。