制作工艺：

集成

输出信号：

模拟型

本产品既能测量频率从0--7.5KHz的机械振动位移,又可测量小至0.6纳米级的机械位移和零件尺寸.测量是非接触的,故特别适合一般仪器不能胜任的旋转轴式或不受力的小型.线型.薄壁或怕划伤的精密零部件的静态,动态和在线测量.曾获得国际尤里卡发明奖.国家发明奖.国家科技进步奖
      主要技术指标;
      1.量程；    6微米    10微米    20微米   50微米   60微米  80 微米   100微米    200微米  300微米  400微米  500微米    600微米  800  微米  1000微米     2000微米   3000微米   4000  微米  5000微米    6000微米                                    2.分辨率; 0.01%FSO   
      3.测量频率范围; 0--7.5KHz
      4.非线性; <+0.25%      5.温漂;0.05%/FSO(开机预热20分钟)   6.工作温度;-20--+250度
      7.输出信号; + 5.00V        8.电源;  ~220V                         仪器应用举例;
      1.旋转轴的径向跳动,轴向窜动和回转
      2.往复机构的运动特性和重复定位
      3正弦波激振和抹脉冲激振中振动测量
      4机械零部件的相对振动和变形
      5盘类零部件的端面振摆动
      6轴承间隙和油膜厚度
      7线切割机床的电极丝的振动
      8机床主轴热位移与动态加载试验测量
      9检测零部件尺寸和平直度
      仪器传感器能微调测量初始间隙,安装方便,操作简单,适宜测量多种材料,适应高压.高磁场等恶劣环境