制作工艺：

集成

采用MEMS技术和SOI技术，集成平膜压力传感器芯体，并采用先进的梁膜结构设计，使其具有耐高温及瞬时高温冲击的能力、动态频率响应高（可达到1MHZ）、超高量程，以及高过载（可承受满量程20倍）等特点。“耐高温微型压力传感器”为国家高技术研究发展计划（863计划）MEMS领域重点项目成果，并通过部级成果鉴定，拥有自主知识产权。该压力传感器广泛应用于航空航天、国防、石油、化工、冶金、电力、船舶、汽车、医药、科研等领域对高温流体的测量。 型号：WYG1、WYG2、WYG4、WYG6、WYG7、WYG8、WYB1、WYB2、WYB1B WYB9、WYB301、WYB302、WYB303、WYB304、WYB501、WYB502、WYB503、WYBR1151 WYBR9、WWB1、WWB2、WYK1、WYK2、WMS