型号 XP-703D
检测对象气体 半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）
检测原理 热线型半导体式
采样方式 自动吸引式
可检测浓度
（单位：ppm） 砷烷　　磷烷　　乙硼烷　　硅烷　　氢气
AsH3　　　PH3　　　B2H6　　　SiH4　　H2
0.2　　　0.3　　　0.1　　　0.5　　1.0
检测表示 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度 10秒以内

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