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TKS高纯气体减压阀
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产品属性
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产品品牌:
TKS
测量范围:
25 MPa
用途:
其它
结构:
单级式
高纯减压阀
应用范围:
高纯气体、半导体,微电子行业
特征:
减压 表面光洁度为0.13μm 隔膜金属密封 长使用寿命 BA或EP等级 316L VIM/VAR阀体 Hastelloy C-22膜片 多种压力表接口选择 多种接口形式选择
规格:
进口压力:3500psig(241barg)或600psig(41barg) 出口压力:1-30,1-60,1-100,1-150,1-250psig
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