扫描热显微镜模块（由控制器，软件和探针组成）可使绝大多数AFM实现对试样温度的扫描成像，且分辨率可达0.1℃。

SThM探针

SThM的探针可测量探针温度，因而能实现对试样表面的导热系数或温度变化的扫描成像。表面形貌和热性能成像图的分辨率一般低于100nm。悬臂由SiN制成，内嵌薄金属线且金属线的阻抗位置在针尖附近。由于使用了金属薄膜电阻，这类探针不像ThermaLever探针能升至很高的温度。为了便于操作和使用，这类探针的针尖通常先预装在支架上并采用电气连接。