仪器规格参数：

1 金属台尺寸：408×308mm

2 外形尺寸：890×620×1077mm

3 运动行程：
        X坐标行程 250mm；
        Y坐标行程 150mm；
        Z坐标行程 250mm（调焦）

4 摆动范围：+-15（绕Y轴旋转）

5 仪器重量：200Kg

6 X、Y、Z数显解析度：0.0005mm

7 X、Y坐标示值误差：≤(3+L/200)μm