产品品牌：

日立

产品型号：

SU6600

类型：

光学显微镜

产品名称：配有VP功能的新型热场扫描电镜SU6600

配有VP功能的新型热场扫描电镜SU6600的介绍

型可以提供200nA的探针电流，并且配置了VP功能，可以满足不导电样品的无蒸镀观测。

 

配有VP功能的新型热场扫描电镜SU6600的特点

1.200nA的探针电流，可满足EDX、WDX、EBSP、CL等应用

2.配有VP功能，可自动实现压差光阑的安装和取出

3.配有二次电子探头和背散射探头，可选配ESED

4.大型分析型样品室，可方便的安装多种分析附件

5.可装载150mm直径、40mm高样品

6.电脑控制的5轴优中心马达样品台

 

二次电子分辨率：1.2nm@30KV

3.0nm@1KV

4.5nm@30KV,150Pa

背散射电子分辨率：3.5nm@30KV

放大倍率：10~600,000（输出尺寸127x96mm）

电子枪类型：热场发射

探针电率：1pA~200nA

加速电压：0.5~30KV

物镜光阑：自清洁、4孔可动式

束闸：电磁式

 

样品台：电脑控制的5轴优中心马达样品台

X：0~110mm

Y：0~110mm

Z：4~40mm

T：-5°~+70°

R：360°

样品尺寸：直径150mm x高40mm

探头：二次电子探头

背散射电子探头