产品品牌：

日立

产品型号：

SU70

类型：

光学显微镜

日立热场发射扫描电镜SU70的介绍

采用成熟的超高分辨率半内透镜技术和热场发射电子枪，为探索纳米世界打开了一扇新的大门。为了满足在同一台仪器上进行综合分析(需要大探针电流)和超高分辨率观察的需求，日立开发了SU-70。

 

日立热场发射扫描电镜SU70的特点

1.100nA的大探针电流

  新开发的肖特基电子枪保证100nA的大探针电流

2.通用的分析型样品室

  预留了多种接口，可以安装以下附件进行

  分析：EDX,WDX,EBSP,STEM,BSE, CL,超低

  温台，样品室CCD

3.分析模式(FF模式)

  观察磁性样品及EBSP、WDS分析

4.超高分辨率1.0nm/15kV，1.6nm/1kV(减速模式)，超高分辨率的获得利用了日立

  已被检验的半内透镜技术。

5.超级ExB技术用于控制SE/BSE信号检测，实现消除放电现象及信号混合

6.电子束减速技术保证了超低电压的高分辨成像，用于浅表面观察

 

日立热场发射扫描电镜SU70的技术规格

二次电子图象分辨率

1.0nm(15KV.WD=4.0mm)

1.6nm(1KV.WD=1.5mm,减速模式)

2.5nm(1KV.WD=1.5mm)

 

放大倍数

1.低放大倍数模式20-2,000x

2.高放大倍数模式100-800,000x

 

电子光学

1.电子枪   ZrO/W肖特基电子枪

2.电流     1pA-100nA

3.加速电压0.5-30KV(标准模式)

4.着陆电压0.1-2.0KV(减速模式)

5.透镜系统3级电磁线圈系统

6.物镜光阑4孔光阑,真空外选择和细调

 

样品台

样品台控制5轴马达控制

移动范围

X     0-110mm

Y     0-110mm

z     1.5-40mm

T     -5O-+700

R     360O

样品尺寸直径150mm(标准)

()  直径200mm(可选)

 

探测器

1.二次电子探测器

2.背散射电子探测器(可选)

3.STEM探测器(可选)

4.法拉第杯(可选)

5.X射线能谱仪(可选)

6.X射线波谱仪(可选)

7.EBSP探测器(可选)

8.阴极荧光探测器(可选)