产品品牌：

日立

产品型号：

SU1510

类型：

电子显微镜

产品名称：日立扫描电子显微镜SU1510

日立扫描电子显微镜SU1510的介绍
主机宽度仅为55cm体型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可变压力扫描电镜。

日立扫描电子显微镜SU1510的特点
1.仪器主体比过去减小20%，可以更加自由地选择安装场地。
2. 标配低真空功能，可以对不导电进行无喷涂观察。高低真空转换一键完成。
3. 可载入直径153mm，高度为60mm(WD=15mm)的样品，并进行元素分析。
4. 强大的鼠标控制功能，可实现电镜的所有操作。
5. 分子泵真空系统，洁净无污染。

日立扫描电子显微镜SU1510的技术规格

项目	内容
二次电子分辨率	3.0nm（高真空，30kV）
背散射电子分辨率	4.0nm(低真空：6Pa，30kV）
倍率	5～300,000倍
加速電圧	0.3～30 kV
样品台	X            0～80 mm  Y            0～40 mm  Z            5～50 mm  T            -20°～ 90°  R            360°
样品台控制	手动（可选：2轴马达）
载入样品尺寸	直径：153 mm
观察范围	直径：126 mm（XYR并用）
样品高度	60 mm（WD=15 mm）
低真空范围	6-270Pa(从菜单设定)
灯丝	预对中钨灯丝
物镜光阑	4孔可变光阑
枪偏压	固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压
检测器	二次电子检测器，高灵敏度半导体背散射电子检测器
EDX分析位置	WD=15,TOA=35°
真空系统	分子泵1台，机械泵1台
安全措施	停电，漏电，自动保护