日立扫描电子显微镜 S-3700N超大样品仓扫描电镜
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产品属性
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研究超大,超重,超高样品的分析型扫描电镜
●可载样品直径达300mm
●观察区域直径达203mm
●在观察110mm高样品时可进行能谱分析
●样品室设置多种接口,可安装EDS、WDS、EBSD和CL等多种分析用附件
●5轴优中心马达台可以倾斜-20度~+90度
●采用节能,清洁的涡轮分子泵
S-3700N技术参数 | ||
分辨率 | SE |
3.0nm,30KV(高真空模式) 10nm, 3KV(高真空模式) |
BSE | 4.0nm,30KV(低真空模式) | |
放大倍率 | x5~x300,000 | |
加速电压 | 0.3~30KV | |
低真空范围 | 6~270Pa | |
图像电位移 | ±50μm (工作距离10mm) | |
样品尺寸 | 直径300mm | |
样品台 | ||
X | 150mm | |
Y | 110mm | |
Z | 5~65mm | |
R | 360° | |
T | -20°~90° | |
观测区域 | 203mm | |
样品高度 | 直径110mm(工作距离10mm) | |
样品台类型 | 优中心马达台 | |
电子光学系统 | ||
灯丝 | 预对中灯丝 | |
物镜 | 4孔活动光阑 | |
光阑 | 固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压 | |
枪偏压 | 二次电子探头 | |
探测器 | 5分割半导体式被散射探头 | |
分析位置 | 工作距离10mm,取出角35° | |
显示控制系统 | ||
控制模式 | 键盘鼠标、操纵杆、旋钮板 | |
显示器 | 液晶显示器 | |
辅助功能 | 3D动画演示功能 | |
电镜操作导航功能 | ||
样品操作导航功能 | ||
倾斜补偿功能 | ||
存储图像 | 640 x 480 , 1280 x 960 | |
2560 x 1920 , 5120 x 3840 | ||
图片格式 | BMP, TIFF, JPEG | |
图像显示模式 | 全屏模式:1280 x 960 | |
标准模式:640 x 480 | ||
分割模式:640 x 480 点x 2 | ||
信号混合模式 | ||
真空系统 | ||
控制模式 | 全自动 | |
分子泵 | 210升/秒,一台 | |
机械泵 | 135升/分,一台 | |
保护措施 | 断电保护、漏气保护 |