PSI系列探针台
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手 机：13581657381
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图文详情
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产品属性
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- 产品品牌：
- PSI
- 产品型号：
- PSI-D
- 类型：
- 探针台
普西工业提供手动探针台针,广泛应用于半导体、微电子、光电子、太阳能等领域 其产品包括： • 晶圆探针台(Wafer Probe Station) • 射频探针台(RF Probe Station) • LCD/OLED大尺寸平板探针台(LCD/OLED Probe Station) • 四探针台（Four Point Probe Station,也称：表面电阻探针台） • 霍尔效应探针台（Hall effect measurement system） • 变温探针台（高温探针台、低温探针台） • 环境可控型探针台等型号 • PSI晶圆探针台： • 载物台尺寸： 4英寸、6英寸、8英寸可供选择 • 载物台位移： 快速移动(PSI 150 / PSI 200 )：150 X 150mm / 200 X 200mm 精密调整(PSI 150 / PSI 200 )：150 X 150mm / 200 X 200mm • 样品台旋转角： 0 ~ 30 度 （可选精密调整） • 载物台上/下范围： 10mm • 真空吸盘：不锈钢（可选加热吸盘） • 漏电流低于300fA • 显微镜台位移： 25mm X 25mm • 显微镜放大倍率： 30-2000倍 （可由客户指定） • 探针座数量：2-12个(可选) • 尺寸： ( W / D / H ) PSI 150 : 580mm X 700mm X 700mm PSI 200 : 660mm X 660mm X 700mm 同时我们可以根据您的具体需求提供高性价比的客制化产品。 可选磁性和真空以及机械安装式. XYZ移动范围：12mm 分辨率可至 1um 注:特殊要求可根据用户要求定制 • 重量 (PSI150 /PSI200 ) : 60kg / 80kg 可选配件： 1）低电流、低电容探针/电缆 2）RF探针/电缆 3）不同工作距离和放大倍率光学显微镜 4）变温探针台 5）真空腔 6）环境腔 一： 型号PSI-D-J4 （一）系统结构说明： • 简述： 本探针系统可通过探针架及四轴平台实现任意角度的调节，可扩展性强，探针数可根据用户需求定制完成； • 特点: 系统结构稳定； 扩展性强 便于操控 适合在各种不同需求的研究领域中使用 （二）系统实物图 （三）系统配置参数： 3.1 系统组成及组件：01.光学成像 02.视频成像 03.观测样品移动部分 04.探针架 05.系统机械主体结构 06.样品夹具 07.测量软件 3.2 技术说明及参数：
| NO. | 结构组成 | 数量（套） | 参数说明 | 功能说明 |
| 01 | 光学成像 【根据具体使用需求，可使用不同倍率光学镜身做为成像主体，如：超高放大倍率视频显微系统、超长工作距离变倍系统、激光微加工系统、高快速定位系统等 … 】 | 壹 | 立体显微镜 镜筒： 45 °倾斜， 360 °旋转；双目观察头瞳距调节范围： 54~75mm ；两目镜筒视度均可调节，调节范围为± 5 屈光度； 标准的 C 接口可连接 CCD 成像设备； 目镜：使用高眼点广角目镜，为佩带眼镜的观察者提供方便 ； 物镜： 0.7X~4.5X 的连续变倍物镜，确保像面齐焦性；放大范围：在 3.5X~180X 之间，连续变倍 ； 工作距离： 30mm~165mm ，超长的工作距离，为使用者提供更大的工作空间 ； 光源：电照明系统种类多样，内置荧光灯、卤素灯照明和外置环形荧光灯、卤素灯照明 | 通过光学成像原理，对所观测样品进行光学放大，使其达到微观观察，为探针系统视觉部分提供成像 |
| 02 | 视频成像 【根据需求选配 CCD 或 C-MOS 芯片】 | 壹 | CCD 成像设备 数字处理彩色微型摄像头 * 拾取设备： 1/3" IT CCD * 总像素： 811(H) × 508(V) (NTSC);795(H) × 596(V) (PAL) * 有效像素： 768(H) × 494(V) (NTSC); 752(H) × 582(V) (PAL) * 同步系统：内部信号 * 视频输出： Composite × 1, Y/C × 1 * 水平分辨率： Composite:450TVL; Y/C:480TVL * 小照度： 0.1Lux at F1.2 * 信躁比： 50dB (AGC OFF) * 电子快门： E1-1(1/60~1/10000 秒 NTSC); E1-1(1/50~1/10000 秒 PAL); E1-2(1/100~1/10000 秒 ) * 白平衡：自动 / 预设 * 镜头接口： C-Mount | 基于光学成像部分，通过数字传感器将目镜观察的光学成像转换成视频成像到电脑或监视器上，可以减少目镜观察的视觉疲劳，使工作效率提高； |
| 03 | 观测样品移动部分 【平台尺寸根据需求定制，可选：自动控制平移台，可采用高伺服控制系统】 | 壹 | 四轴样品移动台 ( 手动 ) | 在通过 X 、 Y 、 Z 以及旋转的四方向移动，为显微观察部分提供一个可观察的环境； |
| 04 | 探针架 【可选多种探针架】 | 壹 | 实现显微操作等功能 | 实现探针的 X 、 Y 、 Z 的三轴操作和仰角调节等功能。配合光学平台使用，可实现全方位各种角度的调节； |
| 05 | 系统机械主体结构 | 壹 | 05.1 600*800 光学平台 05.2 显微镜支撑架 05.3 Z 轴调节装置 调焦机构：调焦手轮， Z 轴升降 05.4 探针架去撑配件 | 整个系统机械主体结构稳定，光学显微镜，四轴样品移动台等均安装在上面 ; |
| 06 | 样品夹具 | 壹 | 根据现场实验需求定制完成 | 根据现场实验需求定制完成 |
| 07 | 测量软件 | Microscope Partner 测量软件 | 1. 可动态 / 静态对显微图像进行分析测量，操作快捷 2. 软件包含了显微测量、视频处理、图像处理三大功能模块 3. 采用数字图像处理算法，具有二维标定功能，水平、垂直方向分别标定，减小标定误差；标定倍率标识由用户自己定义 4. 线、圆、矩形、多边形、角度等测量工具，对图像上两点距离、线段长度、线距、圆半径直径、面积、角度、矩形、椭圆、折线、多边形、点线、平行线距的等几何参数进行测量。图像库浏览、图像标注、文字操作、打印等功能实现；测量图片可存为 bmp 、 jpg 格式；将检测以 word 、 excel 的文档格式进行输出。 | 软件测量提供各种尺寸的测理结果，生成，方便存储； |