实现测试过程中三维纳米级微小位移，该系统由宏动和微动两套X-Y-Z位移系统组成。 X-Y-Z轴宏动、微动组合的闭环控制；

 X,Y轴宏动行程：15mm； Z轴宏动行程：25mm；

 X,Y,Z轴宏动分辨率：<0.01μm；X,Y,轴宏动平台负载：3kg；

Z轴宏动平台负载：2kg；X,Y轴微动行程：100μm；Z轴微动行程：25μm； X,Y轴微动分辨率： 0.4nm； X,Y轴微动平台负载:1kg； Z轴微动分辨率：0.1nm；   Z轴控制器响应频率：1.7kHz； Z轴微动平台负载：0.2kg；

软件：提供适用多种语言的驱动实用模块库；所提供的软件功能强大，操作简单，定位，具有RS-232 TCP/IP,USB,IEEE488 接口。