- 产品品牌:
- COXEM
- 类型:
- 电子显微镜
•CX-200扫描电子显微镜
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关于 CX-200扫描电子显微镜的详细介绍
•主要特点
全自动扫描电镜:
自动电子光学系统,观测条件可大范围调节,适应不同目标的观测需要
自动样品台系统,提高样品观察区域搜索效率和搜索
自动图像调整系统,程序计算的图像生成条件。
自动涡轮分子泵真空系统,高效洁净真空系统,保持电子光学系统长期高性能,免维护。
技术参数
分辨率:3.0nm(30KV,SEimage)10nm(3KV,SEimage)
4.0nm(30KV,BSEimage)
放大倍数:10X~300,000X(WD=5mm)
3X(WD=50mm)
加速电压:0.5KV~30KV
电子枪:W灯丝,预对中
聚光镜:2级电磁透镜
物镜:圆锥形电磁透镜
物镜光阑:4个可变孔径光阑,(30um,50um,100um,200um),摇摆对中
210mmX280mm,可接配EDS,BSE,WDS,f样品室:内部尺寸
样品台:五轴自动,机械对中样品台,坐标导航软件控制,具有多种保护功能。
样品台行程:X:65mm,Y:40mm,Z:5~50mm,T:-20°~90°,R:360°
操作:鼠标键盘,基于WindowsTM的GUI操作软件
自动功能:自动亮度对比度,自动聚焦,自动消象散,自动电子枪对中,自动灯丝饱和,自动偏压,动态聚焦,倾斜校正等一键操作。
语言:英语
图像扫描模式:全屏、选区、分屏、双放大、SE&bse混合;TV模式、慢扫描、照相存储等,
图像像素:5120x3840pixel
图像格式:JPG、BMP、TIFF等
图像位移:±50um(WD=10mm)
图像处理分析软件
真空系统:两级全自动涡轮分子泵系统(260liters/sec),真空度实时显示。
外形尺寸和重量:主机:77(W)x88(D)x150(H)㎝,350㎏
操作桌:85(W)x80(D)x70(H)㎝,10㎏
电源主机电器控制部分单相220~250V交流50/60Hz2KW
5% ±稳定度小于
地线独立地线1条,小于等于100Ω
环境
温度15-30°C
湿度小于等于70%
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