硅芯片检查显微镜LW300MT特点: LW300MT专为微电子行业量身定做,适用于硅、砷化镓、磷化铟等基片6″8″盘的生产工艺检查;可以方便的快移和的位移检查;也可以适用其它需较大面积标本的工艺检查
硅芯片检查显微镜LW300MT主要技术参数
1、镜筒:B双目,倾斜30°(本仪器主机含三目摄像接筒装置) 2、大视野目镜:WF10Xф18mm 3、长工作距离平场物镜:PL5X,PL10X,PLL20X,PLL40X(S),PLL80X(S) 4、转换器:五孔 5、总放大倍数:50X~800X 6、载物台:三层机械移动,尺寸280×270mm,移动范围204mm×204mm 7、调焦:粗微动同轴,升降范围25mm,微动格值0.0007mm,带锁紧和限位装置 8、光源:反射柯勒照明,透反射照明卤素灯6V20W,亮度可调,反射照明带起偏振片 9、正交偏光装置
硅芯片检查显微镜LW300MT选购件 :
1、目镜:12.5X、16X、20X 2、带尺可调目镜:HWF10X(0.01mm或0.005mm) 3、物镜:平场物镜:PL4X,PL5X,PLL25X,PLL50X,PLL60X,PLL80X,PLL100X(S)干镜 4、软件:金相分析软件、粒度分析软件、测量软件等式 5、电脑图像分析系统: 金相分析系统:LW300MT主机、图像适配镜、数码摄像头、金相分析软件、电脑 电脑型:LW300MT主机、图像适配镜、数码摄像头、电脑 数码型:LW300MT主机、图像适配镜、数码相机、电脑 |