铭为电子ME1301移动式动态气体标准系统
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产品属性
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流量测量准确度 | ±1%F.S(可按要求提供更高值) |
流量测量线性 | ±0.5%F.S |
流量测量重复性 | ±0.2%F.S |
零气流量 | 5或10(标配)或20slm |
标气流量 | 50或100(标配)或200slm |
零气产生 | 不含NO—NOX —O3—SO2—CO和HC的零气 |
输出流量 | 可达到20L/min(可按要求提供更大值) |
输出压力 | (0.1-0.3)Mpa |
露点 | 0℃ |
零气纯度 | SO2≤1ppb NO≤1PPb NO2≤1PPb O3≤1PPb CO(选项) ≤0.05ppm HC(选项) ≤0.05ppm |
选配 | 一氧化碳和碳氢化合物涤除器 |