品牌:UNION  HISOMET 系列 型号DHII  产地:日本  非接触式深度测量工具显微镜 UNION显微镜 UNION测量显微镜

Z轴测量误差：1微米 (40×) 读数0.1微米

日本Union HISOMET DHII高非接触深度测量显微镜
采用光学和非接触方法探测焦距的方法，测量不会给样品造成变形或划痕等影响，这些往往是采用物理性接触测量时产生的。基于目标分光方法原理的精密聚焦指示器的应用，以简单地把两个目标标志部分重合起来进行高的测量..

功能：
非接触测量微细的撞击、台阶等。
◎ 通过高的光学聚焦点检测和的聚焦指示器完成高的测量
◎ 简单的操作
◎ Z轴测量行程可从几个μm 到25mm
◎ 同时还可以完成测量点的表面观察

HISOMET系列工具显微镜为一X、Y、Z轴座标测量显微镜，X、Y工作台行程由100*200mm到大行程500*500mm，放大倍数由5至1000×。为求提高工件在Z轴深度/高度测量时的，Z轴对焦采用一光学“裂像指示器”，结合精密的Z轴“Cross  Roller  Bearing”导轨，可测范围25  mm，测量误差1μm

技术规格
型号：DHII
工作台行程：100*200mm/150*300mm/500*500mm
Z轴测量范围：25mm/25mm/25mm
三轴分解度：0.001mm
标准目镜：10X
标准物镜：10X

物镜:

5倍,10倍,20倍,50倍

选配: 100×

用户:松下,SONY,UATC,NXP,JABILL,SCC,日月光,长电 等等 90%的半导体厂都是用这品牌

  提供24小时的服务方案及客户样品的定制方案。