截面抛光仪
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手 机:13600288750
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产品品牌:
JEOL日本电子
产品型号:
IB-09010CP
类型:
电子显微镜

凝聚了日本电子公司科技人员多年的梦想与实践

截面抛光仪 IB-09010CP

  • 不管是用机械研磨法难以制备的样品,还是软硬材质混合的复合材料,都能够制备出光滑的截面。
  • 可以获得平滑的镜面抛光效果。与机械研磨法相比,使用截面抛光仪(CP)制备的样品变形小、晶体结构不易破坏,因而适合于晶体取向分析(EBSD)的前处理。
  • 能够制备出宽度大约为1mm的大截面。
    非常适合于镀层及电子元件的失效分析。
  • 采用触控式面板,操作简单。

截面抛光仪IB-09010CP的特点

  • 彩色液晶触控式面板操作:彩色液晶屏显示加工条件,一目了然。通过触摸屏即可设定加工条件。
  • 标准配置的CCD相机,用于确定加工位置:屏幕画面便于观察,容易对准加工位置。
  • 离子加速电压 为8kV (选配):提高了研磨速度。标准的加速电压为6kV。

SEM应用图例

纸张截面

使用剃刀片等制作纸张截面时,纸纤维的损伤无法避免。从图中可以看出,使用CP制备的截面损伤较小。
CP制备的截面(背散射电子图像)
C Kα (EDS)
Si Kα (EDS)
Ca Kα (EDS)

金线焊接

制备金等软质材料的截面样品时不会对其造成损伤,另外它还适合于对焊接结合部的焊点进行评估。采用传统机械研磨法制备样品会损坏焊点,研磨的磨料嵌入金内部甚至会引起界面层剥离,形成研磨损伤,而采用截面抛光仪(CP)制备截面样品则能避免这类损伤。

背散射电子图像
背散射电子图像

主要技术规格

离子加速电压 2~6kV
离子束直径 500μm(FWHM)
研磨速度 100μm/H (2小时的平均值,加速电压:6kV,硅换算, 边缘距离:100μm)
搭载样品尺寸 11mm(宽)×10mm(长)×2mm(厚)
样品移动范围 X轴 ±10mm Y轴 ±10mm
样品旋转角度调节范围 ±5º
样品加工摆角 ±30º(申请中)
操作方法 触控式面板
使用气体 氩气(由质量流量控制器控制流量)
压力测试 潘宁真空计
主抽真空装置 涡轮分子泵
辅抽真空装置 机械泵
尺寸/重量 主机 545 mm(宽)×550 mm(长)×420 mm(高) 64kg
机械泵 150 mm(宽)×427 mm(长)×230.5 mm(高) 16kg
选配件 加速电压8 kV 单元
旋转样品台
高定位CCD相机

安装条件

电源 单相100~120V±10%、50/60Hz、0.5~0.6kVA
地线 独立地线(100Ω以下)
氩气 使用圧力: 0.15±0.05MPa(1.0~2.0kg/cm²)
纯度高于99.9999%(氩气、气瓶及调压器由客户自行准备。)
胶管接头: JIS B0203 Rc 1/4
室温 20~25℃(变动: 1℃/h以内)
湿度 小于60%