真空喷镀仪
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真空喷镀仪JEE-420是一款兼供制备透射电镜和扫描电镜样品用的设备。用它来快速喷制细颗粒透射电镜样品的支撑碳膜:或者在制备复型和对样品投影时,用来喷镀各种金属和其它材料,都是十分有用的。JEE-420还可以用来喷制细颗粒扫描电镜样品的支撑和导电性薄膜。全自动真空系统是标配,再选用涡轮分子泵,则可以获得极清洁的高真空工作环境。
真空喷镀仪JEE-420规格
真空度 |
优于 3 × 10-4 Pa |
真空系统操作 |
自动化 |
真空测量 |
潘宁真空规和皮拉尼真空规 |
真空指示 |
潘宁真空规计(量程自动切换) |
钟罩尺寸 |
250 mm(H) × 250 mm(O.D.), 玻璃 |
喷镀电极 |
2套 |
加热电源 |
10 V AC, 50 A |
碳夹持器 |
1 套 |
加热夹持器 |
2 套 |
备用接口 |
1 |
电极半固定阀门 |
1 |
样品阀门 |
1 |
扩散泵 |
420 L/s, (水冷却) (涡轮分子泵为选配) |
机械泵 |
100 L/min |