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仪器适用范围：
伴随着半导体工业的发展，我国半导体圆晶生产已从较小的尺寸发展到现在的8英寸（200mm），MA3000就是为了适应大芯片检测而开发的新产品。MA3000配备反射照明光学系统，反射式暗场和偏光系统，使它可用在相同尺寸的半导体掩模板，液晶基板或其它平面显示器及各种工业器件的检验场合。
仪器特性：
- l 200mmX200mm带快速离合器大行程载物台
- l 视场数∮22mm无限远校正像差超长工作距离平场消色差物镜
- l 落射光明场、暗场及偏光可快速转换
- l 机架经计算机《有限元》分析处理，有高稳定性及抗振性
- l 轴承钢淬火后精密加工的滚柱导轨，使仪器具有稳定的使用及高的可靠性
- l 采用人机工程学的设计理念，调焦手轮前置，使之操作舒适。
高质量的光学系统，确保仪器在对各试样检验时均能获得良好的成像质量。
无限远校正像差长距平场消色差物镜
MA3000配用了本公司新开发的视场数 22mm无限远校正像差超长工作距离平场消色差系列物镜。对各种被检测的试样均能获得优良的成像质量。物镜的超长工作距离，可避免物镜与试样相碰而损伤试样或物镜
在反射照明光路中，明场、暗场和偏光可快速转换
MA3000配有明场和暗场共用的物镜，只要拉动拉杆，即可明场暗场转换；只需插入或拉出起偏器和检偏器，即可偏光转换，操作十分方便。
采用完善的柯拉照明系统
MA3000采用完善的柯拉照明系统，在整个视场内照明均匀。
MA3000大平台工业显微镜配套表
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MA3000 |
MA3020 |
附 注 |
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1 |
反射式工业检验显微镜主机 |
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反射式,手动转换器,偏光附件 |
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2 |
透反射式工业检验显微镜主机 |
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● |
透反射式,手动转换器,偏光附件 |
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3 |
载物台 |
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200X200行程,有快速离合装置 |
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4 |
玻璃载物板 |
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200X200 |
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5 |
灯箱组 |
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12V50W反射光用光源 |
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6 |
30°倾斜双目组 |
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7 |
五孔手动转换器 |
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两只装暗场物镜的大孔,三个装明场物镜的小孔 |
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8 |
4×长距平场物镜 |
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LPL 4X/0.10 ∞ 工作距离 27.236mm |
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9 |
10×长距平场物镜 |
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LPL 10X/0.25 ∞ 工作距离 18.48mm |
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10 |
20×长距平场物镜 |
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LPL 20X/0.40 ∞ 工作距离 8.35mm |
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11 |
40×长距平场物镜 |
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LPL 40X/0.65 ∞ 工作距离 3.895mm |
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12 |
50×长距平场物镜 |
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LPL 50X/0.70 ∞ 工作距离 1.95mm |
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13 |
80×长距平场物镜 |
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LPL 80X/0.80 ∞ 工作距离 0.848mm |
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14 |
10X长距平场暗场物镜 |
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D LPL 10X/0.25 ∞ 工作距离 18.48mm |
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15 |
20X长距平场暗场物镜 |
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D LPL 20X/0.40 ∞ 工作距离 8.35mm |
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16 |
40X长距平场暗场物镜 |
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D LPL 40X/0.65 ∞ 工作距离 3.895mm |
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17 |
50X长距平场暗场物镜 |
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D LPL 40X/0.70 ∞ 工作距离 1.95mm |
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18 |
80X长距平场暗场物镜 |
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D LPL 40X/0.80 ∞ 工作距离 0.848mm |
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19 |
4X平场物镜 |
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PL 4X/0.10 ∞/0.17 |
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20 |
10X平场物镜 |
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PL 10X/0.25 ∞/0.17 |
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21 |
20X平场物镜 |
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● |
PL 20X/0.66 ∞/0.17 |
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22 |
40X平场物镜 |
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PL 4X/0.10 ∞/0.17 |
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23 |
100X平场物镜 |
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PL 100X/1.25oil ∞/0.17 |
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24 |
10×大视野目镜 |
●● |
●● |
WF10×-22 |
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25 |
16×大视野目镜 |
○○ |
○○ |
WF16×-16 |
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26 |
黄、绿、兰、中性滤色片 |
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各一 |
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27 |
毛玻璃片 |
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28 |
35mm摄影接筒 |
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29 |
2.5X摄影负目镜 |
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30 |
CCD摄像机接头 |
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显微镜与DV02或视频摄像机联接用 | |
