辰泰克ZDF-5302Ⅱ型复合真空计
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产品品牌:
辰泰克
产品型号:
ZDF-5302Ⅱ

1 仪器的用途及使用范围 ZDF-5302Ⅱ型复合真空计由双路热偶规(ZJ-53B)与单路电离规(ZJ-2)组成,用于2.7×102~1.0×10-5Pa之间的压力测量,适用于真空应用、真空获得等需要实时监测真空与控制输出的设备制造行业,包括半导体制造、镀膜设备、真空排气台、真空冶炼设备等生产车间及大专院校、科研院所实验室。仪器使用环境条件在5℃~35℃,相对湿度在80%以下,无强磁场及剧烈震动的场合。   2  主要技术性能规范

2.1  测量范围                 热偶部分:2.7×102~1.0×10-1 Pa

电离部分:1.0×10-1~1.0×10-5 Pa

2.2 测量                  热偶部分≤±30%                               电离部分:≤±5% 2.3  电源                       ~220V±22V  50Hz ±1Hz 2.4  热偶规管恒定加热电流      29mA±1.5mA(27mA±1.5mA) 2.5  电离规管发射电流         5mA 2.6  加速极对地电压          225V±2V 2.7  灯丝对地电压              25V±1V 2.8  收集极对地电压          0V 2.9  除气电压                ~8V±2V 2.10  仪器外形尺寸             装架式:   90mm×480mm×280mm                       2.11  仪器开孔尺寸            88mm×440mm 2.12  仪器重量                5Kg