- 产品品牌:
- 辰泰克
- 产品型号:
- ZDF-5302Ⅱ
1 仪器的用途及使用范围
ZDF-5302Ⅱ型复合真空计由双路热偶规(ZJ-53B)与单路电离规(ZJ-2)组成,用于2.7×10
2~1.0×10
-5Pa之间的压力测量,适用于真空应用、真空获得等需要实时监测真空与控制输出的设备制造行业,包括半导体制造、镀膜设备、真空排气台、真空冶炼设备等生产车间及大专院校、科研院所实验室。仪器使用环境条件在5℃~35℃,相对湿度在80%以下,无强磁场及剧烈震动的场合。
2 主要技术性能规范
2.1 测量范围 热偶部分:2.7×102~1.0×10-1 Pa
电离部分:1.0×10-1~1.0×10-5 Pa
2.2 测量
热偶部分
:≤±30%
电离部分:≤±5%
2.3 电源 ~220V±22V 50Hz ±1Hz
2.4 热偶规管恒定加热电流 29mA±1.5mA(27mA±1.5mA)
2.5 电离规管发射电流 5mA
2.6 加速极对地电压 225V±2V
2.7 灯丝对地电压 25V±1V
2.8 收集极对地电压 0V
2.9 除气电压 ~8V±2V
2.10 仪器外形尺寸 装架式: 90mm×480mm×280mm
2.11 仪器开孔尺寸 88mm×440mm
2.12 仪器重量 5Kg