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ZDF-5202Ⅱ型复合真空计

产品型号：

ZDF-5202Ⅱ型复合真空计

1 仪器的用途及使用范围 ZDF-5202Ⅱ型复合真空计由双路电阻规(ZJ-52T)与单路电离规(ZJ-2)组成，用于1.0×10⁵～1.0×10^-5Pa之间的压力测量，适用于真空应用、真空获得等需要实时监测真空与控制输出的设备制造行业，包括半导体制造、镀膜设备、真空排气台、真空冶炼设备等生产车间及大专院校、科研院所实验室。仪器使用环境条件在5℃～35℃，相对湿度在80%以下，无强磁场及剧烈震动的场合。   2  主要技术性能规范 2.1  测量范围                 电阻部分观测范围：1.0×10⁵～1.0×10^-1 Pa 电阻部分测量范围：3.0×10³～1.0×10^-1Pa 电离测量部分范围：1.0×10^-1～1.0×10^-5 Pa 2.2 测量                  电阻部分:≤±50%                               电离部分：≤±5% 2.3  电源                       ～220V±22V  50Hz ±1Hz 2.4  电离规管发射电流          5mA 2.5  加速极对地电压           225V±2V 2.6 灯丝对地电压            25V±1V             2.7 收集极对地电压             0V 2.8  除气电压                ～10V±2V 2.9  仪器外形尺寸             装架式： 90mm×480mm×280mm 2.10  仪器开孔尺寸            88mm×440mm 2.11 仪器重量                 5Kg