产品型号：

MFC800

测量范围：

0-1500 m3/h

MFC800系列气体质量流量控制器，为工业和科学研究领域长期可靠工作而设计。利用热扩散原理及PID控制原理，测量和控制小管道的气体质量流量输出，不需要温度和压力补偿。以性能可靠、安装方便和价格合理得以大量应用。 产品特点 ☆用于多种气体质量流量控制，如CO,Ar,CF4,O2,N2,H2,C2H4,C2F6,NF3,SIF4等 ☆测量范围：从0-5sccm 至 0-1500slm ☆：1.0%F.S. ☆量程比：小100:1 ☆重复性：0.25% ☆响应时间：1.0S ☆过程温度：0-50℃ ☆过程压力：0-8MPa ☆供电：24VDC ☆输出：0-5V,4-20mA,RS232 ☆管道材质：316L ☆连接标准：1/4英寸，3/8英寸，1/2英寸，3/4英寸 产品应用 l         实验室，泄漏检测 l         医学，气体合成 l         科学研究，过程控制 l         制药，半导体工业