产品品牌：

MKS

产品型号：

M100B

弹性密封质量流量控制器（通用型）

M100B是一种通用的弹性密封的质量流量控制器，可在生产，分析，工业以及测试等多种应用场合测量和控制有腐蚀性气体的流量，特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器，它还可以作为压力控制器使用。

对于当今市场上的质量流量控制器，M100B可作为直接替代的产品，标准的3英寸底座使M100B能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有模拟通讯模式，其为全量程的1%。

 

技术参数：

全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM，30000SCCM，50000SCCM（可选）

控制量程：2% to 100% 的全量程。

测量：全量程的1%

灵敏度：全量程的0.1%

热机时间：小于2Min.

响应速度：小于2Sec.

输入电压：±15VDC@100ma

输出电压：0-5VDC

连接器：模拟： 9Pin或15Pin或20Pin Card edge.

        数字：RS485或Device net或Profibus

法兰接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等

材质：316 不锈钢