产品品牌：

美国AE(Advanced Energy)

产品型号：

FC-PA780/7800

Aera Transformer 数字式质量流量控制器（MFC）和质量流量计（MFM）适用于多种不同的应用，包括CVD、PVD、扩散和刻蚀等等，将改变您的工艺，提供灵活性和效率，从而带来更多的产量、更高的生产率，和更低的成本。先进的传感器和阀技术，经过现场应用验证的平台组件以及高速的数字线路带来当今精准的气体流量控制。凭借无与伦比的可靠性和出色的反应、性和可重复性，这一系列的产品包括单气体和多气体、多量程的MFC以满足您在数值和功能上的要求。

 

Advanced Energy 的Aera FC-PA780系列质量流量控制器是更新、更低造价、更适于多种流量范围、多种气体的数字型MFC。它可应用在CVD,PVD,ALD和蚀刻工艺中。该产品有新设计的测量装置和阀门，其他原件与已使用证实的FC-D980,FC-7800相同。FC-PA780系列为设定值的1%，流量为满量程的25%，零点漂移小于0.5%。新的测量装置改进了度，可靠性，和热反应性，而新的阀门与压电型阀有同样快的速度（小于1秒）。为便于在各种控制系统上工作，FC-PA780可进行模拟和数字型控制，并与RS-485和DeviceNet兼容。数控性能包括自动回零，报警，流量渐升，总流量统计，气流监控，和数据收集。作为一个选择项，MFC的数字型 数据采集装置可随时连接使用。

 

优点：

>出色的性能（性、可重复性和稳定性）

>无与伦比的可靠性

>全面的通信与控制

>易于整合

>简单，通用性

>大幅节约成本

>的服务和支持

 

特性

>多气体、多量程选择

>反应迅速（小于1秒）

>全金属密封和超纯设计

>可现场编程

>无限气体选择，无需重新校准

>DeviceNet、RS-485或0~5Vdc模拟控制

>多警报和诊断功能