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图文详情
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产品属性
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- 产品品牌:
- MKS
- 产品型号:
- 1159A
质量流量控制器(大流量,常闭阀)
1559是一种通用型弹性密封的质量流量控制器,可在20slm(42.5cfh)到200slm(425cfh)量程范围进行气体的质量流量控制。相比于其它的大流量控制器,1559独有的控制阀门能够消除振荡、具有更好的响应时间。它的这个特点是通过使用一“平衡力”阀门的设计来实现的,它能够消除管道压力引起控制阀门内部的非平衡状态。1559的为全量程的±1%。
例:型号1559A00421LS1BV
采购序列号
校准气体(SEMI气体编号)*
Helium, He 001
Argon, Ar 004
Hydrogen, H2 007
Nitrogen, N2 013
Oxygen, O2 015
**校准流量SLM-sccm(相当氮气200SLM)
20 021L
50 051L
100 12L
200 22L
装配件(Y)
标配:Swagelok 0.5英寸管 S
选配:SwagelokR 8VCRR 凸接头 R
选配:SwagelokR 8VCOR 凸接头 G
阀
常闭 1
电气/通讯连接器
模拟15针D B
密封(Z)
标配: Viton R V
选配: Neoprene R N
选配: BunaN B
选配: KalrezRR K
用于1559A的电缆线
CB259-5-10用来将1559连接至PR4000, 246, 247
(如要在247上连接2个以上的通道,需要添加一个电源,请用CB1559-1-10)
CB147-1-10用来将1559连接至146, 186, 647, 167
CB1559-1-M1用来连接1559A、247D和260PS