ALICAT气体质量流量控制器
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图文详情
产品属性
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指标 | 质量流量控制器 | 体积流量控制器 | 描述 |
标准量程 | 0.5,1,2,5,10,20,50,100,200,500 (S)CCM; 1,2,5,10,20,50,100,250,500,1000,2000(S)LPM | 满量程 | |
±0.8%读数±0.2%满量程(可选高:±0.4%读数±0.2%满量程) | 满量程 | ||
重复性 | ±0.5% | 满量程 | |
量程比 | 100:1 | 测量和控制 | |
响应时间 | 100 | 毫秒(可调) | |
标准状态(STP) | 25℃&14.696PSIA (101.325kPa) | 无 | 仅测量质量流量用 |
温度范围 | -10~50 | ℃ | |
零点漂移 | 0.02% | 满量程/℃/Atm | |
量程漂移 | 0.02% | 满量程/℃/Atm | |
湿度范围 | 0-100% | 无冷凝 | |
测量流量范围 | 102.4% | 满量程 | |
耐压 | 150 | 150* | PSIG |
输入/输出(数字) | 质量流量、体积流量、绝压和温度 | 体积流量 | RS-232串口 |
输入/输出(模拟) | 质量流量 | 体积流量 | 0-5VDC |
可选输入/输出 第二路模拟 | 质量流量、体积流量、绝压或温度 | 体积流量 | 0-5VDC,0-10VDC或4-20mA |
电气连接 | 8针 | 小型圆插头 | |
供电电压 | 12-18VDC(4-20mA输出时为:15-30VDC)** | ||
供电电流 | 0.250A | ||
安装位置敏感度 | 0% | ||
预热时间 | <1 | 秒 | |
接液材质 | 303&302不锈钢,Viton®,RTV硅树脂,玻璃纤维增强尼龙,铝,铜,410不锈钢 | ||
*对于体积流量控制器,若入口压力>10PSIG时,须同厂家联系。 **使用24V时需指定24V线圈. |