产品品牌：

美国 INFICON石英晶体膜厚控制仪

产品型号：

MDC360

产品用途：

半导体，平面显示器，光学元件的制造

质保时间：

2012-12-25

质保时间：

2012-12-25

该设备具有功能强大的自我检测系统，在自动运行模式过程中，即使在感应器晶片失效情况下，仍可在无需人工操作情况下完成预设镀膜程序。执行运行条件与中止功能可由操作员设定。
　　•性能
　　MDC360具有多重性能，只需低成本设备调整即可，具备多种半导体技术和低成本微处理器用途。　　
　　•动态检测更新速率
　　动态检测是由0.5至10Hz（赫兹）之间调整，使之达到分辨率及控制。
　　•优良的图象显示
　　MDC-360配备了256x64像素液晶图象显示器，使之具备重要数据的即时显示，例如速率速率偏差膜厚及功率。
　　•程序安全
　　MDC-360配备了密码编辑功能，以保证已储存的程序的完整及不被其他人随意改动。
　　•运行过程无需人为操作设计
　　MDC-360已具备真正的全自动运行至程序结束功能，并且具有功能强大的内在监测及超越异常中断线路，使异常中断的可能性降至。
　　•安全故障中止
　　在运行过程中，如果出现故障MDC360内在检测证实，运行无法继续MDC360将中止程序运行并且关闭所有输出，同时在速率控制错误或晶片故障时，MDC360可提供给操作者选择运行中止。

　　•保持程序中断状态　　
　　当MDC360中断镀膜运行时，相关的运行信息将被储存起来，待故障排除后被中止了的镀膜运行将可继续进行。
　　•晶片失效时完成运行
　　MDC360的内在监测与中止运行功能，是为了保护镀膜设备安全以及避免设备在运行过程中发生严重故障，运行过程中晶片失效属于例外情况，可以不必中止运行程序，在此状态下MDC360可以设定为中止运行，但也可设定为转换备用晶片或时间／功率方式继续运行。
　　•高效能系统界面
　　完全可程序化的独立的输入和输出，使MDC360很容易与镀膜系统的界面连接，以控制更复杂的运行过程，同时为避免短路故障源极控制输出是完全独立绝缘的。MDC360还支持并接收光学膜厚仪的光学膜厚终止信号。
　　•电源干扰公差
　　完整的RFI滤波器与大容量的电容器将可容许至700ms（毫秒）以下的电源中断及高强度干扰而继续工作。
　　•国际标准电源接头
　　电源接头是经过国际及符合IEC（国际电器技术协会）标准，输入电源可选择100至240伏，50或60赫兹并配备了高性能RFI干扰过滤器。
　　•现场性能提升
　　插入式界面板和选项板可以使基础设备个体在工作现场升级至系统别。

北京利方达真空技术有限责任公司

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