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ACEGEM

       www.ace-gem.com卓耐科技 超声波共振2.2裂纹检测仪是一种离线的工具。这种模式完全适合生产过程中的每一个阶段的质量控制操作，包括传入（和传出）晶圆或电池质量的核查。单元由一个计量单元（包括超声换能器和超声波探头）、一个计算机控制的电子单元、有系统运行软件的电脑、数据采集和数据处理组成。附加的系统包含自动输入，输出和晶圆/电池的拒绝。该系统安装在移动的推车上，使操作者可以将移动检测器到任何需要的地方，使它即插即用.

规格

•晶圆/单元尺寸：6”（其他维度也必须说明）。

•全频率范围：20至90千赫

•小的声波信号：1毫伏

•灵敏度按钮：100％和0％之间（指标准差系数）

•传感器直径：50mm（2”）

•环境条件：17 - 35C（稳定T，意义着的1C T△在15分钟内）

•周期时间：平均3秒

•生产量：约1200，不包括堆栈改变

•载入：从堆栈中的自动加载

•卸载：从堆栈中自动卸载

•拒绝：自动进入到接待箱

•堆栈：为300晶圆

•软件：基于的MS Windows

•接口：普通纯平个人电脑

•电源：230V

•空气和真空（外部）：6Bar的稳定气流

•安全：安全

•手推车尺寸[毫米]：1.350H x800W x1.750L 

系统组件

•位于垂直移动的Z -阶段的超声换能器

•位于水平移动的X-阶段的超声换能器

•数字信号处理器锁定放大器

•传送带及控制器

•进进出出的晶圆持有者（堆栈）

•选择和地点输入

•选择和地点输出

•分离抓手