双频激光干涉仪
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在德国,Jena地区以生产蔡司光学产品而闻名。位于该地区的耶拿尔JENAer公司生产的ZLM700/800双频激光干涉仪在同类产品中,由于具有独特的性能优势和简单的操作方法而久负盛名。由本公司代理,德国耶拿尔JENAer公司生产的双频激光干涉仪,是世界上一家将的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的制造商。该公司的双频激光干涉仪,不仅能够的测量数控机床的几何量,如线性度、直线度、垂直度、角度、平面度等,通过配合使用球杆仪,还能够测量数控机床的回转量。
ZLM系列双频激光干涉仪采用模块化设计和可调型ASIC元件,用户可以根据测量目的的不同,选择不同的反射镜和辅助元件,以完成各种测量和控制任务。
ZLM700双频激光干涉仪主要用于单轴系统的校准和测量,ZLM800干涉仪可从单轴拓展为多轴,广泛应用于高速动态加工工艺中的机械定位和系统控制。它能够完全计算出机械设备的运行轨迹,并通过WINDOWS™软件按用户设定的方法对其进行分析。
配用高性能蔡司光学镜头,ZLM70/800双频激光干涉仪可以完成以下各种测量工作:
工作原理 型ZLM700/800激光干涉仪使用氦氖激光器,采用双频外差式工作模式。激光稳频为0.002ppm,640MHz的频差经四倍后用于信号处理。这种高频处理信号能够对高速物体进行测量,不会出现干扰误差,信号延时时间极短。 采用光纤电缆,把来自干涉镜的信号传输到计算机卡槽连接的电子计数器上,避免了外部电磁环境对测量信号的干扰。因此,ZLM700/800双频激光干涉仪特别适用于恶劣的生产环境、标准化实验室和高真空环境。 除了计算机卡槽接口外,还可以使用其他独立的电子装置进行数据处理,包括各种接口,用于数据输出和连接成为一个控制环路。ZLM800型干涉仪可以拓展为六轴测量。 性能要点
产品的可靠性 世界范围内,ISO9000/9004已经被广泛应用于各种质量保证体系。这就要求的企业必须按照相关要求对生产工艺和控制过程进行严格的管理。Jenaer公司就是采用这样质量管理体系的公司。 测量结果的可靠与否取决于测量的工具、测量方法和操作者。测量系统的校正误差会极大影响测量的结果的准确性。 本公司的双频激光干涉仪可以通过软件来减小测量系统的校正误差。把两个四象限传感器置于激光器内,一个用于测量光束,另一个用作参考光束,从而保证了以优的方式来校正干涉系统与被测物体。由于使用大屏幕显示,系统校正会非常灵敏,从而方便校正。 使用软件校正的优点
数据分析处理的标准 精准的测量方法 即使是标准配置,ZLM700/800双频激光干涉仪的分辨率也能够达到5nm,测量优于1 µm/m。这就需要使用AUK500自动环境补偿器(俗语:气象站)来提供环境温度的一些参数,通过参数补偿,使其环境指标达到实验室测量的标准。 ZLM700/800双频激光干涉仪使得测长机械和比较器的校正变得更为简单。
简易的测量方法 ZLM700/800双频激光干涉仪使用WINDOWS™数据分析软件,长度测量结果极为准确,对测量数据的分析也特别方便。用户只需要登录测量的数据库,就可以轻松查询各种数据表和图示。无论是检测位置、角度或者是直线度,由卡尔蔡司设计的专用软件都可轻松集成于各种微软WINDOWS™操作系统中。测量、分析、记录收集、数据归档都可轻松的完成,大大节约了工作时间。 对测量结果的处理是一项重要的工作,通过集成式记录编辑器,对图表、数据表和用户添加的内容都可轻松的编辑和打印。所有记录的内容都可导出为Word文档。
优势性能
技术参数
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