特点

•大幅度提高了驱动速度(X轴：80mm/s, Z2轴：20mm/s)，近一步降低了总测量时间。

•为了在一定时段内维持仪器的直线度规格，三丰公司采用了具有的耐摩擦性及稳定性的高硬度陶瓷导轨。

•大量的外周设备选件支持CNC模式，从而可以很容易实现CNC测量。

•驱动装置(X轴)和立柱(Z2轴)中集成了高线性编码器(Z2轴为ABS型)，从而提高了在垂直方向持续自动测量小孔和不易定位工件的重复。

• X轴：±(0.8+0.01L)μm,Z1轴：±(0.8+|0.5H|/25)μm*，针对高工件的测量所设计。

* CV-4100S4, H4, W4型L为驱动长度，H为测量高度(mm)

• CV-4100系列的驱动装置集成了激光全息测微计检测器，在Z轴(垂直方向)的窄／宽测量范围内，提供卓越的和分辨率。

技术参数

X轴

测量范围: 100mm或200mm

分辨率: 0.05μm

检测方法:反射型线性编码器

驱动速度: 80mm/s和手动

测量速度: 0.02 - 5mm/s

移动方向:向前／向后

直线度: 0.8μm/100mm, 2μm/200mm

*当X轴在水平方向上指示: ±(1+0.01L)μm (CV-3100S4, H4, W4)(20° C时) ±(0.8+0.01L)μm (CV-4100S4, H4, W4)±(1+0.02L)μm (CV-3100S8, H8, W8)

±(0.8+0.02L)μm (CV-4100S8, H8, W8)

* L为驱动长度(mm)倾斜范围: ±45°

Z2轴(立柱)

垂直行程: 300mm或500mm

分辨率: 1μm

检测方法: ABSOLUTE线性编码器

驱动速度: 0 - 20mm/s和手动

Z1轴(检测器)

测量范围: ±25mm

分辨率: 0.2μm (CV-3100), 0.05μm (CV-4100)

检测方法:线性编码器(CV-3100),

激光全息测微计(CV-4100)

指示: ±(2+I4HI/100)μm (CV-3100)(20° C时) ±(0.8+I2HI/100)μm (CV-4100)

*H为水平位置上的测量高度(mm)

测针上／下运作:弧形运动

测针方向:向上／向下

测力: 30mN

跟踪角度:向上：77°、向下：87°

(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针)

测针针尖 半径: 25μm、硬质合金针尖

基座尺寸(W x H):750 x 600mm或1000 x 450mm

基座材料:花岗岩

重量

主机: 140kg (S4), 150kg (H4), 155kg (W4)

145kg(S8), 155kg (H8), 160kg (W8)

　控制装置:14kg

　遥控箱: 0.9kg

电源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz

能耗: 400W (仅限主机)