采用L型移动桥式，由两到三个高等高块规稳固支撑Y向槽型导轨，左立柱与横梁、滑架、鞍座共同组成移动桥，提高了运动质心，减少了阿贝误差；

X轴和Z轴均采用超精加工及经过表面硬质阳极化处理的航空铝合金；

Y轴采用一体化槽型精密花岗石导轨；

Z轴采用的可调式气动平衡设计，采用柔性悬挂系统，避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题，提高了测量机的和长

期稳定性；

各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带，确保运动的平衡和准确定位；

三轴均采用预载荷空气轴承，运动更平稳，导轨永不受磨损；

三轴均采用高欧洲进口光学尺，系统解析度可达0.078um；同时采用一端固定，一端自由伸缩的方式安装，减少了光学尺的变形，保证在温度变化时的线性伸缩；

测量机三轴都配置温度感测器，即时监控温度变化，自动补偿由于温度变化而引起的误差。

X轴和Z轴均采用超精加工及经过表面硬质阳极化处理的航空铝合金；

Y轴采用一体化槽型精密花岗石导轨；

Z轴采用的可调式气动平衡设计，采用柔性悬挂系统，避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题，提高了测量机的和长

期稳定性；

各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带，确保运动的平衡和准确定位；

三轴均采用预载荷空气轴承，运动更平稳，导轨永不受磨损；

三轴均采用高欧洲进口光学尺，系统解析度可达0.078um；同时采用一端固定，一端自由伸缩的方式安装，减少了光学尺的变形，保证在温度变化时的线性伸缩；

测量机三轴都配置温度感测器，即时监控温度变化，自动补偿由于温度变化而引起的误差。