工作台：

回转轴机构方式：独特的多孔静压式空气轴承系统

回转：JISB7451（0.04+0.0005H）μm

回转速度：1-10rpm(可调)

工作台尺寸：φ180mm

调心调整范围：±2mm(手动)

倾斜调整范围:±1°

承载重量：20KG

测定直径：φ368mm

承载直径：φ510mm

上下机动部：

真直度测定：0.4um/100mm(0.8um/300mm)

移动量：300mm

移动速度：0.5,1,2mm/s(手动可)

测定高度：外径545mm  内径320mm

半径方向移动部：

移动量：160mm(电动，自动停止，手动)

小位置显示：0.01mm

检出器：

测定力：100mN（10gf）以内可变

测定范围：1800um(b STYLUS ARM使用时,)

触针：半径R0.8mm超硬

增幅演算装置：

滤波器(filter)：2CR一般，2CR补偿。

倍率：10-100000。

评价法：MZC，LSC，MIC，MCC，LSL，MZL　共六种。

测定项目：真圆度，平面度，圆筒度，同轴度，同心度，直角度，真直度，平行度，面平行度。

补助机能：部分圆测定机能，直线展开图形，立体图形，自动测定机能，再演算机能。

记录装置：

Color　Printer

电源：

AC100V±10﹪，50/60Hz