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小流量气体质量流量控制器M3030V
价格：电议
地区：辽宁省 大连市
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小流量气体质量流量控制器M3030V

 

气体质量流量控制器M3030V，采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，无需温度压力补偿。气体质量流量控制器M3030V是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体流量的稳流装置，能在较宽的量程范围内快速而地控制气体流量。即使系统压力有波动或环境温度有轻微的变化，也不会影响其正常的工作。

 

小流量气体质量流量控制器M3030V产品亮点：

-类    型：MFC气体质量流量控制器

-控制范围：10sccm ～ 30slpm  (sccm:标准毫升/分 slpm:标准升/分) 

-准度等级: ±1% F.S

-耐    压：≤90bar

-标准接口：0-5VDC，4-20mA可选

-响应时间：≤2sec

-使用范围：2~100% for max range

-供电电源：+15~+28Vdc, 350Ma

-漏    率：1×10-9atm·cc/sec

-气路连接：1/4”SWG，1/8”SWG，3/8”SWG，1/4”VCR

-适用介质：所有气体（含腐蚀性气体和有毒气体）

-无需温度、压力补偿

 

小流量气体质量流量控制器M3030V

产品型号

M3030V

M3030A

  流量范围 (N2)

 10sccm ～ 30slpm

10sccm ～ 30slpm

  响应时间

 ≤2秒

  ≤2秒

  准确度

  ≤±1% 满量程

  ≤±1% 满量程

 重复

  ≤±0.25% 满量程

 ≤±0.25% 满量程

 输出输入信号

 0~5Vdc

  0~5Vdc或4~20毫安

  供电

 +15~+28Vdc，350毫安

  +15~+28Vdc，350毫安

  耐压

  ≤90 bar

 ≤90 bar

 工作环境温度

  0~50 °C

  0~50 °C

应用领域：
－分析仪器     －干刻（RIE/DRIE）     －燃料电池
－生物技术     －气相色谱分析         －等离子刻蚀
－激光焊机     －混气配气系统         －微反应装置
－真空镀膜     －过程自动化           －石化工业