M产品安装体积较小,可以满足精密仪器如廓投影仪工具显微镜等
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光栅尺MSM系列推荐应用领域：有效长度≤400mm，由于尺身安装体积较小，可以满足精密仪器如投影仪、工具显微镜、影像测量仪等对光栅尺安装空间有限制的设备。
光栅传感器基本参数
| 型号 | MSM1 | MSM5 |
光栅栅距 | 20um(0.020mm),10um(0.010mm) | |
光栅测量系统 | 透射式红外光学测量系统，红外线波长：880nm | |
读数头滚动系统 | 垂直式五轴承滚动系统 | |
分辨率 | 1um | 5um |
有效行距 | 50～400mm | |
工作速度 | 0.3m/s(1um) 、1m/s(5um) | |
输出讯号 | TTL,RS422 | |
工作电压 | 5V±5%DC | |
工作环境 | 温度：-10～45°C 湿度≤90% |
| Mini M系列1um标准光栅尺： | ||||||
| 序号 | 有效长度 | 分辨率 | 工作速度 | 型号 | 货号 | |
| 1 | 50mm | 1um | ±5um | 0.3m/s | MSM1-50 | 10-010-00050 |
| 2 | 100mm | 1um | ±5um | 0.3m/s | MSM1-100 | 10-010-00100 |
| 3 | 150mm | 1um | ±5um | 0.3m/s | MSM1-150 | 10-010-00150 |
| 4 | 200mm | 1um | ±5um | 0.3m/s | MSM1-100 | 10-010-00200 |
| 5 | 250mm | 1um | ±5um | 0.3m/s | MSM1-250 | 10-010-00250 |
| 6 | 300mm | 1um | ±5um | 0.3m/s | MSM1-300 | 10-010-00300 |
| 7 | 350mm | 1um | ±5um | 0.3m/s | MSM1-350 | 10-010-00350 |
| 8 | 400mm | 1um | ±5um | 0.3m/s | MSM1-400 | 10-010-00400 |
| Mini M系列1um高精密光栅尺： | ||||||
| 序号 | 有效长度 | 分辨率 | 工作速度 | 型号 | 货号 | |
| 1 | 50mm | 1um | ±3um | 0.3m/s | MSM1/50 | 10/010/00050 |
| 2 | 100mm | 1um | ±3um | 0.3m/s | MSM1/100 | 10/010/00100 |
| 3 | 150mm | 1um | ±3um | 0.3m/s | MSM1/150 | 10/010/00150 |
| 4 | 200mm | 1um | ±3um | 0.3m/s | MSM1/100 | 10/010/00200 |
| 5 | 250mm | 1um | ±3um | 0.3m/s | MSM1/250 | 10/010/00250 |
| 6 | 300mm | 1um | ±3um | 0.3m/s | MSM1/300 | 10/010/00300 |
| 7 | 350mm | 1um | ±3um | 0.3m/s | MSM1/350 | 10/010/00350 |
| 8 | 400mm | 1um | ±3um | 0.3m/s | MSM1/400 | 10/010/00400 |
| Mini M系列5um标准光栅尺： | ||||||
| 序号 | 有效长度 | 分辨率 | 工作速度 | 型号 | 货号 | |
| 1 | 50mm | 5um | ±5um | 1m/s | MSM5-50 | 10-050-00050 |
| 2 | 100mm | 5um | ±5um | 1m/s | MSM5-100 | 10-050-00100 |
| 3 | 150mm | 5um | ±5um | 1m/s | MSM5-150 | 10-050-00150 |
| 4 | 200mm | 5um | ±5um | 1m/s | MSM5-100 | 10-050-00200 |
| 5 | 250mm | 5um | ±5um | 1m/s | MSM5-250 | 10-050-00250 |
| 6 | 300mm | 5um | ±5um | 1m/s | MSM5-300 | 10-050-00300 |
| 7 | 350mm | 5um | ±5um | 1m/s | MSM5-350 | 10-050-00350 |
| 8 | 400mm | 5um | ±5um | 1m/s | MSM5-400 | 10-050-00400 |
| Mini M系列5um高精密光栅尺： | ||||||
| 序号 | 有效长度 | 分辨率 | 工作速度 | 型号 | 货号 | |
| 1 | 50mm | 5um | ±3um | 1m/s | MSM5/50 | 10/050/00050 |
| 2 | 100mm | 5um | ±3um | 1m/s | MSM5/100 | 10/050/00100 |
| 3 | 150mm | 5um | ±3um | 1m/s | MSM5/150 | 10/050/00150 |
| 4 | 200mm | 5um | ±5um | 1m/s | MSM5/100 | 10/050/00200 |
| 5 | 250mm | 5um | ±3um | 1m/s | MSM5/250 | 10/050/00250 |
| 6 | 300mm | 5um | ±3um | 1m/s | MSM5/300 | 10/050/00300 |
| 7 | 350mm | 5um | ±3um | 1m/s | MSM5/350 | 10/050/00350 |
| 8 | 400mm | 5um | ±3um | 1m/s | MSM5/400 | 10/050/00400 |